Бум производства полупроводниковых пластин: насколько велик разрыв в производстве полупроводниковых пневматических компонентов?

June 29, 2026

Поскольку отечественные линии по производству 12-дюймовых пластин вступают в период плотного ввода в эксплуатацию, высококачественные пневматические компоненты для производства полупроводников сталкиваются с взрывным спросом и становятся основным полем битвы за прорывы в локализации. Отраслевые данные показывают, что объем рынка полупроводниковых пневматических клапанов в Китае, как ожидается, достигнет 5,61 млрд юаней в 2026 году, что на 18,7% больше, чем в прошлом году, сохраняя сильную динамику роста. В зрелых технологических узлах внутреннее замещение вступило в стадию массового внедрения, но технологический разрыв в передовых процессах остается очевидным.

Бум производства полупроводниковых пластин: насколько велик разрыв в производстве полупроводниковых пневматических компонентов?


Ход замещения демонстрирует очевидную дифференциацию. На зрелых технологических линиях влажной очистки и доставки химикатов с диаметром трубопровода 28 нм и выше на отечественные пневматические шестиходовые клапаны приходится 41,2% установленной мощности. Общий уровень локализации сверхвысоковакуумных пневматических клапанов в зрелых процессах превысил 50%, при этом скорость утечек ведущих отечественных продуктов достигает 10⁻⁹ Па·м³/с, что в основном соответствует международным стандартам. Отечественные производители оборудования подняли целевой показатель локализации клапанов для новых моделей до более чем 65%, а потребность в автономности цепочки поставок продолжает подталкивать отечественные компоненты к ускорению проверки и внедрения.

Бум производства полупроводниковых пластин: насколько велик разрыв в производстве полупроводниковых пневматических компонентов?


Однако нельзя игнорировать пробелы. В передовых процессах 14 нм и ниже уровень локализации основных пневматических компонентов составляет всего около 22%, а такие ключевые категории, как клапаны с металлическим уплотнением для сверхвысокого вакуума и коррозионностойкие технологические клапаны высокой чистоты, по-прежнему в значительной степени зависят от импорта. Существуют структурные недостатки в основных исходных материалах, таких как перфторэфирный каучук и специальные сплавы. По-прежнему существуют пробелы в долгосрочной стабильности продукции и постоянстве чистоты по сравнению с международными брендами. В сочетании с такими барьерами, как сертификация SEMI и длительные циклы проверки производственных линий, полная замена все равно потребует времени. Учитывая огромное рыночное пространство, возникшее в результате расширения мощностей, и глубокие технические барьеры, прорыв в локализации полупроводниковых пневматических компонентов находится в критическом периоде перехода от «пригодного к использованию» к «надежному».
самые последние новости
Написать нам